UVLED解胶机的认知与应用

UVLED解胶机的认知与应用

   近些年随着LED替代汞灯势头越来越猛，领域越来越广，跟大家分享下LED替代汞灯的又一领域-UV解胶机。国内半导体的产业不断发展，其半导体设备需求也不断发展，国内近2年更是迅猛发展。那么本期就跟大家分享下UVLED在半导体设备领域的新应用。我们通过以下三个问题，来全面直观了解UVLED解胶机。什么是UVLED解胶机？原理是什么？可以用在哪些具体的领域？

          首先 什么是UVLED解胶机？

          能够将UV切割膜胶带进行固化，从而完成晶圆芯片自动解胶的光源固化设备，通过LED光源替代汞灯光源的紫外线固化灯。因此具有许多汞灯无法替代的优势：

1、冷光源，低热辐射，热敏材料也适用

2、尺寸、波段可选，空间灵活。

3、节能环保，低能耗，约汞灯的1/8，无紫外光泄露

4、寿命长，汞灯寿命的10倍以上，平均使用寿命20000小时以上

5、照射均匀

6、智能控制

      其次原理是什么？

        UVLED解胶机通过将UV切割膜胶带表面进行固化，使其粘合强度降低，从而实现晶圆或芯片自动解胶的光源设备。能够替代传统的紫外汞灯固化设备，同时可以进行波段定制（365nm\385nm\395nm\405nm可选）

     最后可以用在哪些具体领域？

      UVLED解胶机应用于晶圆制造、玻璃、陶瓷切割工艺的解胶工序，同时还应用于光学镜头、LED、IC、集成电路等半导体材料UV膜脱胶使用工艺中。