UVLED解胶机的认知与应用

2022-04-02 18:17 大彬
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UVLED解胶机的认知与应用


   近些年随着LED替代汞灯势头越来越猛,领域越来越广,跟大家分享下LED替代汞灯的又一领域-UV解胶机。国内半导体的产业不断发展,其半导体设备需求也不断发展,国内近2年更是迅猛发展。那么本期就跟大家分享下UVLED在半导体设备领域的新应用。我们通过以下三个问题,来全面直观了解UVLED解胶机。什么是UVLED解胶机?原理是什么?可以用在哪些具体的领域?

     

          首先 什么是UVLED解胶机?

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          能够将UV切割膜胶带进行固化,从而完成晶圆芯片自动解胶的光源固化设备,通过LED光源替代汞灯光源的紫外线固化灯。因此具有许多汞灯无法替代的优势:


1、冷光源,低热辐射,热敏材料也适用

2、尺寸、波段可选,空间灵活。

3、节能环保,低能耗,约汞灯的1/8,无紫外光泄露

4、寿命长,汞灯寿命的10倍以上,平均使用寿命20000小时以上

5、照射均匀

6、智能控制

       

      其次原理是什么?

       

        UVLED解胶机通过将UV切割膜胶带表面进行固化,使其粘合强度降低,从而实现晶圆或芯片自动解胶的光源设备。能够替代传统的紫外汞灯固化设备,同时可以进行波段定制(365nm\385nm\395nm\405nm可选)

     

     最后可以用在哪些具体领域?

     

      UVLED解胶机应用于晶圆制造、玻璃、陶瓷切割工艺的解胶工序,同时还应用于光学镜头、LED、IC、集成电路等半导体材料UV膜脱胶使用工艺中。